초고해상도 FMM
레이저를 이용하여 RGB 다이렉트 패터닝용 초고해상도의 4,000 ppi FMM sheet 및 mask 제작이 가능합니다.
- PPA : ≤ ±0.3㎛
- CD variation : ≤ ±0.3㎛
초고해상 마이크로 OLED 패널
4,000ppi FMM을 이용한 Micro OLED AR 패널(8" wafer 기준) 생산 완제품 라인
- FMM을 이용한 RGB Direct Patterning Micro OLED Panel (AR, VR용) 제품 개발
- 초고해상도 (3,000~5,000ppi) Laser Patterned FMM 개발
- 8” Si 기판용 Micro OLED 공정 장비 운영 – 인장용접, 증착기, 봉지기